[发明专利]一种半导体材料生产技术设备在审
申请号: | 201810349241.5 | 申请日: | 2018-04-18 |
公开(公告)号: | CN108789070A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 陆伟城 | 申请(专利权)人: | 广州粤晟科技有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B29/02;B24B55/06;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种半导体材料生产技术设备,包括生产主体,所述生产主体内部设有第一滑行腔,所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽,所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔,所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔,所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔,左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮,所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮,所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架,所述安装架内设有抛光装置。 | ||
搜索关键词: | 行腔 左右两侧 传递腔 锥形轮 半导体材料 生产技术 安装架 导引槽 生产 滑动配合连接 转动配合连接 左右对称设置 动力配合 抛光装置 主体内部 转向轴 内壁 伸进 通腔 贯通 | ||
【主权项】:
1.一种半导体材料生产技术设备,包括生产主体,其特征在于:所述生产主体内部设有第一滑行腔,所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽,所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔,所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔,所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔,左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮,所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮,所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架,所述安装架内设有抛光装置,所述第二滑行腔内滑动配合连接有安装台,所述导引槽与所述第二滑行腔之间的部分内间隙配合连接有上下延伸设置的转向杆,所述转向杆顶部延伸末端伸进所述导引槽内且与所述第一锥形轮底部末端动力配合连接,所述转向杆底部延伸末端伸进所述第二滑行腔内且与所述第二滑行腔内底壁转动配合连接,所述导引槽内的所述转向杆上设有第一螺形部,所述第二滑行腔内的所述转向杆上设有第二螺形部,所述第一螺形部上螺纹配合连接有与所述安装架固定配合连接的导引块,所述第二螺形部与所述安装台螺纹配合连接,所述安装台顶部端面内设有与所述通腔相对设置的放置槽,所述放置槽前侧端贯穿所述安装台前侧端面,所述放置槽内底壁内设有沉槽,所述沉槽左侧内壁内相通设有向上延伸设置的推行槽,所述推行槽右侧顶部延伸末端与放置槽左侧端相通设置,所述推行槽内滑动配合连接有推行块,所述推行块内设有穿槽,所述穿槽内滑动配合连接有上下延伸设置的导引杆,所述导引杆上下延伸末端分别与所述推行槽上下内壁固定连接,所述导引杆左侧的所述穿槽内顶压配合连接有弹力片,所述推行块左侧末端固设有斜形部,位于所述通腔左侧的所述第二滑行腔内顶部上固设有斜形块,所述斜形块相对的所述安装台的顶部端面内开设有与所述述推行槽左侧末端相通设置的口腔,所述放置槽后侧内壁内固设有推出装置,所述生产主体前侧端面内设有与所述第二滑行腔相通的半导体放入口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州粤晟科技有限公司,未经广州粤晟科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810349241.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。