[发明专利]脂肪族聚氨酯光学终点检测窗口和含有它们的CMP抛光垫有效
| 申请号： | 201810343549.9 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108723983B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | N-R·邱;M·T·伊斯兰;G·C·雅各布 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/013;C08G18/75;C08G18/66;C08G18/48;C08G18/42;C08G18/32;C08G18/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于抛光例如半导体衬底的化学机械(CMP)抛光垫，具有一个或多个在2mm厚度下将具有325nm或更低波长下的UV截断的终点检测窗口(窗口)，且所述化学机械(CMP)抛光垫是(A)30到56wt.％的一种或多种脂环族二异氰酸酯或多异氰酸酯与(B)43到69.9999的(i)平均分子量为500到1,500的聚合二醇，如用于硬质窗口的聚碳酸酯二醇和用于软质窗口的聚醚多元醇，与(ii)平均分子量为120到320的三醇的多元醇混合物，其中聚合二醇(B)(i)与三醇(B)(ii)的重量比在1.6:1到5.2:1范围内，以及催化剂的反应混合物的产物，所述催化剂优选仲胺或叔胺或新癸酸铋，所有重量百分数均以所述反应混合物的总固体重量计。 | ||
| 搜索关键词： | 脂肪 聚氨酯 光学 终点 检测 窗口 含有 它们 cmp 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光选自磁性衬底、光学衬底以及半导体衬底中的至少一个的衬底的化学机械(CMP)抛光垫包含CMP抛光垫，所述CMP抛光垫具一个或多个在2mm厚度下将具有325nm或更低波长下的UV截断的终点检测窗口，且所述CMP抛光垫是(A)30到56wt.％的一种或多种脂环族二异氰酸酯或多异氰酸酯与(B)43到69.9999wt.％的(i)平均分子量为500到1,500的聚合二醇与(ii)平均分子量为120到320的三醇以聚合二醇(B)(i)与三醇(B)(ii)的重量比在1.6:1到5.2:1范围内的多元醇混合物以及催化剂的反应混合物的产物，所述催化剂选自呈0.00001到0.1wt.％的量的含锡催化剂，或呈0.01到1wt.％的量的胺催化剂，或呈0.00001到0.1wt.％的量的含铋催化剂，所有重量百分数均以所述反应混合物的总固体重量计。
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