[发明专利]一种二维振动辅助的辊对平面热压印装置及方法

摘要

本发明公开了一种二维振动辅助的辊对平面热压印装置及方法，调节X‑Y工作平台，使衬底位于压印辊正下方，启动加热装置对衬底进行预热，再由Z轴位移平台调控升降平台使压印装置向下运动，直至压印辊与衬底微接触，并进行压印，在压印的同时使用二维振动平台对衬底进行二维振动，压印完成后进行冷却固化并使用二维振动辅助脱模，最后控制升降装置上升，压印结束。本发明采用二维振动平台带动衬底实现压印时X‑Y方向振动，使压印过程模具与固态胶层之间产生剪切变形，使固态胶非弹性变形或流动，图案根部有残留应力，使高深宽比图案不坍塌，并通过振动振散分子结构以减少粘附力，从而减少模板与聚合物脱离时造成的损伤与毁坏，增大微纳图案的效率与保真度。

主权项

1.一种二维振动辅助的辊对平面热压印装置，其特征在于，包括支撑装置、X‑Y工作平台、加热装置、二维振动平台、载物台、衬底卡盘、衬底、压印装置、升降装置、Z轴位移平台，其中支撑装置水平的放置在水平面，X‑Y工作平台通过螺钉固定在支撑装置中的底板上，Z轴位移平台由四个结构完全相同的一维位移平台组成并且均通过螺钉固定在支撑装置上，加热装置通过螺钉固定在X‑Y工作平台中滑块上，二维振动平台通过螺钉固定在加热装置上方，载物台通过螺钉固定在二维振动平台中心，衬底卡盘固定在载物台上，衬底装卡在衬底卡盘上，升降装置通过螺钉固定在Z轴位移平台的滑块上，压印装置通过螺钉固定在升降装置下方中心。