[发明专利]刻蚀设备及自动控制刻蚀终点的刻蚀方法有效
| 申请号： | 201810301838.2 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108517521B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 韦显旺 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刻蚀设备，包括用于盛装刻蚀液的刻蚀槽和用于对浸没在刻蚀液中的金属层施加电压的加压装置，加压装置用于同时接触金属层的两不同部位以形成加压回路；加压装置包括两组电极组件，每组电极组件包括相对设置的电磁铁机构与夹紧簧片以及电连接于所述电磁铁机构内表面的电极探针，所述夹紧簧片在所述电磁铁机构的吸引下靠近所述电极探针。本发明还公开了一种自动控制刻蚀终点的刻蚀方法。本发明利用电磁铁机构与夹紧簧片配合而实现电极探针与金属层的夹紧，并利用刻蚀过程中金属层电阻的变化对电磁铁机构的吸力变化的影响，使得设备在刻蚀终点到达时自动撤去对金属层的夹紧作用，从而实现刻蚀终点的自动控制，提高刻蚀的自动化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 设备 自动控制 终点 方法 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括用于盛装刻蚀液的刻蚀槽(10)和用于对浸没在所述刻蚀液中的金属层(2)施加电压的加压装置(20)，所述加压装置(20)用于同时接触所述金属层(2)的两不同部位以形成加压回路；所述加压装置(20)包括两组电极组件，每组电极组件包括相对设置的电磁铁机构(23)与夹紧簧片(24)以及电连接于所述电磁铁机构(23)内表面的电极探针(23a)，所述夹紧簧片(24)在所述电磁铁机构(23)的吸引下产生形变而靠近所述电极探针(23a)。
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