[发明专利]刻蚀设备及自动控制刻蚀终点的刻蚀方法

权利要求书

1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括用于盛装刻蚀液的刻蚀槽(10)和用于对浸没在所述刻蚀液中的金属层(2)施加电压的加压装置(20)，所述加压装置(20)用于同时接触所述金属层(2)的两不同部位以形成加压回路；所述加压装置(20)包括两组电极组件，每组电极组件包括相对设置的电磁铁机构(23)与夹紧簧片(24)以及电连接于所述电磁铁机构(23)内表面的电极探针(23a)，所述夹紧簧片(24)在所述电磁铁机构(23)的吸引下产生形变而靠近所述电极探针(23a)。

2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述加压装置(20)还包括电源(21)和分别自所述电源(21)的每极引出的两根相对的电极悬臂(22)，每组所述电极探针(23a)与所述夹紧簧片(24)分别固定在两根相对的所述电极悬臂(22)内表面。

3.根据权利要求2所述的刻蚀设备，其特征在于，所述电极悬臂(22)为弹性悬臂，在所述电磁铁机构(23)不工作时，相对设置的所述电极悬臂(22)朝向相互背离的方向翘起。

4.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述夹紧簧片(24)包括连接所述电极悬臂(22)的铁片和连接在所述铁片端部的惰性金属。

5.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，还包括第一喷淋装置(30)和第二喷淋装置(30’)，所述第一喷淋装置(30)和第二喷淋装置(30’)分别设于所述刻蚀槽(10)的底部和上方，分别用于朝所述金属层(2)的上表面和所述金属层(2)下的基板(1)下表面喷淋刻蚀液。

6.根据权利要求1-5任一所述的刻蚀设备，其特征在于，还包括设于所述刻蚀槽(10)内的第一传送装置(40)和第二传送装置(50)，所述第一传送装置(40)用于沿所述刻蚀槽(10)的长度方向搬运所述基板(1)，所述第二传送装置(50)用于沿着或背向所述基板(1)的搬运方向传输所述加压装置(20)。

7.根据权利要求6所述的刻蚀设备，其特征在于，所述第一传送装置(40)为传送辊。

8.根据权利要求6所述的刻蚀设备，其特征在于，所述第二传送装置(50)为传送履带，所述加压装置(20)固定在所述传送履带上。

9.根据权利要求6所述的刻蚀设备，其特征在于，所述第二传送装置(50)为两个，分别固定在所述刻蚀槽(10)的两侧。

10.一种自动控制刻蚀终点的刻蚀方法，其特征在于，使用权利要求1-9任一所述的刻蚀设备，包括：

将基板(1)放入刻蚀槽(10)内，使所述基板(1)表面的金属层(2)浸没在刻蚀液中；

加压装置(20)通电，两组电极探针(23a)与夹紧簧片(24)分别接触并夹紧所述金属层(2)和所述基板(1)；

当电流减小至小于预设值时，所述夹紧簧片(24)恢复形变而与所述电磁铁机构(23)分开。