[发明专利]液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器有效
| 申请号： | 201810296566.1 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108594502B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘菲;任广军;李董;薛力芳;张楷亮 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器，包括两片各覆盖一层氧化铟锡ITO膜的玻璃，以及组装在两片玻璃之间的液晶，液晶厚度为1μm，两层ITO膜分别称为T1膜和T2膜，T1膜的膜厚为T1＝970nm；在T1膜与玻璃之间还镀有厚度50nm的Au膜；在T1膜上制作有周期性排布的金属‑电介质‑金属型MIM纳米棒阵列；沿MIM纳米棒长轴方向周期为500nm，沿其短轴方向周期为300nm，每个MIM纳米棒单元的材料为Au‑SiO2‑Au，MIM纳米棒长度为125nm，宽度为50nm，上下两层Au厚度分别为30nm，中间SiO2厚度为20nm。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 调谐 离激元 诱导 透明 法布里腔杂化 模式 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器，包括两片各覆盖一层氧化铟锡ITO膜的玻璃，以及组装在两片玻璃之间的液晶，其特征在于，液晶厚度为1μm，两层ITO膜分别称为T1膜和T2膜，T1膜的膜厚为T1＝970nm；在T1膜与玻璃之间还镀有厚度50nm的Au膜；在T1膜上制作有周期性排布的金属‑电介质‑金属型MIM纳米棒阵列；沿MIM纳米棒长轴方向周期为500nm，沿其短轴方向周期为300nm，每个MIM纳米棒单元的材料为Au‑SiO2‑Au，MIM纳米棒长度为125nm，宽度为50nm，上下两层Au厚度分别为30nm，中间SiO2厚度为20nm。
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