[发明专利]薄片晶圆加工用的装夹载台及机床有效
| 申请号： | 201810294068.3 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108527042B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 韩赛 | 申请（专利权）人： | 泉州台商投资区镕逸科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B1/00;B24B55/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄片晶圆加工用的装夹载台，它包括槽体，槽体内设有磁流变液，所述槽体的底部设有用于驱使磁流变液固化或复位至呈流体状态的励磁装置，所述槽体上设有输纸机构，所述输纸机构朝槽体内周期性供给单张纸片，所述纸片漂浮于磁流变液的液面上，所述槽体上远离输纸机构的另一侧设有抽纸机构，当待加工的晶圆搁置于纸片上时所述抽纸机构抽取纸片以使得所述纸片从晶圆和磁流变液的液面之间抽离。本发明提供一种薄片晶圆加工用的装夹载台，其无需载片晶圆即可对功能晶圆进行固定，且功能晶圆的强度高，加工过程中碎片率低，最终产品的合格率高。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 纸片 磁流变液 槽体 晶圆加工 输纸机构 载台 装夹 抽纸机构 体内 周期性供给 励磁装置 流体状态 碎片率 复位 抽离 液面 载片 固化 抽取 搁置 机床 漂浮 合格率 加工 | ||
【主权项】：
1.一种薄片晶圆加工用的装夹载台，其特征在于：包括槽体(1)，槽体(1)内设有磁流变液(2)，所述槽体(1)的底部设有用于驱使磁流变液(2)固化或复位至呈流体状态的励磁装置(3)，所述槽体(1)上设有输纸机构，所述输纸机构朝槽体(1)内周期性供给单张纸片(4)，所述纸片(4)漂浮于磁流变液(2)的液面上，所述槽体(1)上远离输纸机构的另一侧设有抽纸机构，当待加工的晶圆(5)搁置于纸片(4)上时所述抽纸机构抽取纸片(4)以使得所述纸片(4)从晶圆(5)和磁流变液(2)的液面之间抽离。/n
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