[发明专利]使用位置敏感检测器的线性位移传感器

摘要

一种位置感测装置，其包括框架、引导支承件、运动元件、位置敏感检测器、光源和位置指示发射器。运动元件被引导支承件沿测量轴线方向在测量范围内引导。光源被配置为发出源光。位置指示发射器与运动元件一起移动。位置指示发射器包括发射器材料，该发射器材料吸收源光并从发射器材料输出激发光，以便在位置敏感检测器上形成测量光点。测量光点沿着位置敏感检测器的感测轴线方向与运动元件沿着测量轴线方向的位置相对应地移动。位置敏感检测器响应于测量光点输出至少一个信号，该至少一个信号指示运动元件沿着测量轴线方向的位置。

主权项

1.一种位置感测装置，包括：框架；引导支承件，其相对于所述框架固定；运动元件，其被所述引导支承件沿测量轴线方向在测量范围内引导；位置敏感检测器，其相对于所述框架固定并且包括光电检测器，所述光电检测器被配置为提供响应于沿着所述位置敏感检测器的感测轴线方向的光点位置的输出；光源，其被配置为沿源光路径发出包括第一波长范围的源光，所述光源至少包括光产生部分；和位置指示发射器，其相对于所述运动元件固定并与所述运动元件一起移动，其中：所述位置指示发射器包括发射器材料，所述发射器材料吸收所述第一波长范围内的光，并且通过输出在所述发射器材料内产生的激发光而进行响应，所产生的激发光包括第二波长范围；无论所述运动元件在所述测量范围内的位置如何，所述位置指示发射器被定位为接收沿着所述源光路径的源光，并且沿着测量光点路径输出激发光，以便在所述位置敏感检测器上形成测量光点；所述测量光点沿着所述位置敏感检测器的感测轴线方向与所述运动元件沿着所述测量轴线方向的位置相对应地移动；并且所述位置敏感检测器响应于所述测量光点输出至少一个信号，并且，所述至少一个信号指示所述运动元件沿着所述测量轴线方向的位置。