[发明专利]使用位置敏感检测器的线性位移传感器有效
申请号: | 201810271606.7 | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN108692659B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | D.W.塞斯科 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 葛青 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 位置 敏感 检测器 线性 位移 传感器 | ||
1.一种位置感测装置,包括:
框架;
引导支承件,其相对于所述框架固定;
运动元件,其被所述引导支承件沿测量轴线方向在测量范围内引导;
位置敏感检测器,其相对于所述框架固定并且包括光电检测器,所述光电检测器被配置为提供响应于沿着所述位置敏感检测器的感测轴线方向的光点位置的输出;
光源,其被配置为沿源光路径发出包括第一波长范围的源光,所述光源至少包括光产生部分;和
位置指示发射器,其相对于所述运动元件固定并与所述运动元件一起移动,其中:
所述位置指示发射器包括发射器材料,所述发射器材料吸收所述第一波长范围内的光,并且通过输出在所述发射器材料内产生的激发光而进行响应,所产生的激发光包括第二波长范围;
无论所述运动元件在所述测量范围内的位置如何,所述位置指示发射器被定位为接收沿着所述源光路径的源光,并且沿着测量光点路径输出激发光,以便在所述位置敏感检测器上形成测量光点;
所述测量光点沿着所述位置敏感检测器的感测轴线方向与所述运动元件沿着所述测量轴线方向的位置相对应地移动;并且
所述位置敏感检测器响应于所述测量光点输出至少一个信号,并且,所述至少一个信号指示所述运动元件沿着所述测量轴线方向的位置。
2.根据权利要求1所述的位置感测装置,其中,所述发射器材料包括磷光体材料、光致发光半导体纳米颗粒、纳米晶体、量子点或纳米棒中的一种。
3.根据权利要求1所述的位置感测装置,其中,所述位置指示发射器包括梯度折射率透镜,所述梯度折射率透镜被布置成聚焦所述激发光以在所述位置敏感检测器上形成测量光点。
4.根据权利要求1所述的位置感测装置,还包括透镜,所述透镜在所述位置敏感检测器和所述位置指示发射器之间固定到所述框架,所述透镜被配置为聚焦所述激发光以在所述位置敏感检测器上形成测量光点。
5.根据权利要求1所述的位置感测装置,还包括滤光器,所述滤光器被配置成从在所述位置敏感检测器上的所述测量光点中过滤所述源光。
6.根据权利要求5所述的位置感测装置,其中,所述滤光器是所述位置指示发射器的一部分。
7.根据权利要求5所述的位置感测装置,其中,所述滤光器是所述位置敏感检测器的一部分。
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