[发明专利]膜厚检测装置及蒸镀机有效
| 申请号： | 201810270503.9 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108277459B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 黄鹏 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。本发明解决了蒸镀材料对通孔的堵塞导致的生产效率低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 蒸镀机 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，其特征在于，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。
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