[发明专利]一种三平行导向式柔性解耦精密定位结构在审

专利信息
申请号: 201810268982.0 申请日: 2018-03-29
公开(公告)号: CN108461109A 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 王福军;赵效鲁;霍至琛;田延岭;张大卫 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G12B5/00 分类号: G12B5/00
代理公司: 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 代理人: 陈娟
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种三平行导向式柔性解耦精密定位结构,包括固定平台,运动平台、四个桥式位移放大机构及四个解耦合机架,所述运动平台安装在固定平台的中央,在运动平台的四周通过柔性铰链对称安装四个桥式位移放大机构,在每一桥式位移放大机构的外侧均围绕安装一解耦合机架,所述解耦合机架分别与桥式位移放大机构及运动平台通过柔性铰链连接,平行于X向布置的任一所述桥式位移放大机构采用压电陶瓷驱动器驱动,平行于Y向布置的任一所述桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器驱动。本发明采用基于双平行四杆机构的桥式位移放大机构,可以增大横向刚度,进而增大放大倍数;降低该机构对于加工误差、残余变形的敏感性。
搜索关键词: 位移放大机构 桥式 运动平台 解耦合 压电陶瓷驱动器 固定平台 精密定位 平行导向 柔性铰链 解耦 平行 平行四杆机构 桥式放大机构 驱动 残余变形 对称安装 横向刚度 加工误差 放大
【主权项】:
1.一种三平行导向式柔性解耦精密定位结构,其特征在于:包括固定平台,运动平台、四个桥式位移放大机构及四个解耦合机架,所述运动平台安装在固定平台的中央,在运动平台的四周通过柔性铰链对称安装四个桥式位移放大机构,在每一桥式位移放大机构的外侧均围绕安装一解耦合机架,所述解耦合机架分别与桥式位移放大机构及运动平台通过柔性铰链连接,平行于X向布置的任一所述桥式位移放大机构采用压电陶瓷驱动器驱动,平行于Y向布置的任一所述桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器驱动。
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