[发明专利]一种三平行导向式柔性解耦精密定位结构

权利要求书

1.一种三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：包括固定平台，运动平台、四个桥式位移放大机构及四个解耦合机架，所述运动平台安装在固定平台的中央，在运动平台的四周通过柔性铰链对称安装四个桥式位移放大机构，在每一桥式位移放大机构的外侧均围绕安装一解耦合机架，所述解耦合机架分别与桥式位移放大机构及运动平台通过柔性铰链连接，平行于X向布置的任一所述桥式位移放大机构采用压电陶瓷驱动器驱动，平行于Y向布置的任一所述桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器驱动。

2.根据权利要求1所述的三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：其中两个桥式位移放大机构和与其对应的两个解耦合机架沿X向布置，另外两个所述桥式位移放大机构和与其对应的两个解耦合机架沿Y向布置。

3.根据权利要求1所述的三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：所述桥式位移放大机构基于双平行四杆机构，由两个一般的桥式位移放大机构嵌套并联而成。

4.根据权利要求1所述的三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：所述桥式位移放大机构具有一个输入端及两个输出端，其中输入端与压电陶瓷驱动器接触或不接触，输出端一端通过解耦合机架与固定平台连接，另一端通柔性铰链与运动平台连接，带动运动平台移动。

5.根据权利要求1所述的三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：所述的解耦合机架由多个梁及柔性铰链混联围成半框形，并分别与运动平台、桥式位移放大机构及固定平台连接。

6.根据权利要求1所述的三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：在桥式位移放大机构上设有或不设有以预紧压电陶瓷的预紧螺栓。

7.根据权利要求1所述的三平行导向式柔性解耦精密定位结构，其特征在于：所述固定平台为矩形框结构，在固定平台的四个角制有四个定位孔。