[发明专利]一种自混合干涉的正交检波振动测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种自混合干涉的正交检波振动测量装置及方法，可调恒流源控制单模半导体激光二极管输出入射激光，入射激光一部分被反射到第二光电二极管上，将光信号转化为电流信号被第二光电检测模块检测后反馈给采集模块；入射激光的另一部分照射到被测物表面并按原路反射回到第一光电二极管上，将光信号转化为电流信号被第一光电检测模块检测后反馈给采集模块。与传统的自混合测量装置相比，本申请的自混合干涉的正交检波振动测量装置能获得正交的自混合信号，并完成振动信号的反正切解调，简化了系统的信号的解调难度，具有更高的位移分辨率，提高了系统的振动信号的解调精度，并能实现实时、在线测量。

主权项

1.一种自混合干涉的正交检波振动测量装置，其特征在于，包括单模半导体激光二极管、可调恒流源、第一聚焦镜、分光镜、第一光电二极管、第一光电检测模块、第二聚焦镜、第二光电二极管、第二光电检测模块、采集模块；所述可调恒流源控制所述单模半导体激光二极管输出入射激光，沿着所述入射激光的照射方向依次放置所述第一聚焦镜、所述分光镜，所述分光镜的轴线与所述入射激光成一定角度，所述入射激光经过所述分光镜后被反射和投射形成反射光和透射光，所述反射光反射到所述第二聚焦镜上，在所述第二聚焦镜的焦平面上放置所述第二光电二极管；所述入射激光经过所述分光镜透射后照射到被测物表面并按原路反回，经所述分光镜及所述第一聚焦镜后进入所述第一光电二极管，所述第一聚焦镜与所述第二聚焦镜的光轴成一定角度；所述第一光电检测模块与所述第一光电二极管电连接，用于检测所述第一光电二极管产生的电流信号；所述第二光电检测模块与所述第二光电二极管电连接，用于检测所述第二光电二极管产生的电流信号；所述采集模块与所述第一光电检测模块、所述第二光电检测模块电连接，用于采集所述第一光电检测模块、所述第二光电检测模块检测到的电流信号；所述第一光电二极管、所述第二光电二极管的负极接地，所述单模半导体激光二极管的正极接地。