[发明专利]取样劈板的取样率及取样均匀性干涉测量系统及方法有效
| 申请号： | 201810253356.4 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108548660B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 达争尚;高立民;陈永权;李红光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710119陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于取样劈板的取样率及取样均匀性干涉测量系统及方法，系统包括沿光路依次设置的缩束望远镜及自准反射镜；待测取样劈板位于缩束望远镜与自准反射镜之间；缩束望远镜输出平行激光，投射至待测取样劈板的取样反射面取样，部分激光被待测取样劈板的取样反射面反射至缩束望远镜；另一部分激光透过待测取样劈板入射至自准反射镜，经自准反射镜反射后透过待测取样劈板进入缩束望远镜。解决了传统测量方法对于小份额取样率不易实现高的测量精度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 取样 劈板 缩束望远镜 反射镜 取样率 干涉测量系统 反射面 均匀性 反射镜反射 传统测量 激光透过 平行激光 依次设置 投射 反射 光路 入射 测量 激光 输出 | ||
【主权项】：
1.一种取样劈板取样率及取样均匀性干涉测量系统，其特征在于：包括沿光路依次设置的缩束望远镜及自准反射镜；/n待测取样劈板位于缩束望远镜与自准反射镜之间；/n所述缩束望远镜输出平行激光，投射至待测取样劈板的取样反射面取样，部分激光被待测取样劈板的取样反射面反射至缩束望远镜；另一部分激光透过待测取样劈板入射至自准反射镜，经自准反射镜反射后透过待测取样劈板进入缩束望远镜；还包括位于缩束望远镜与待测取样劈板之间的分光棱镜或反射镜；所述分光棱镜或反射镜将缩束望远镜出射的平行激光反射至待测取样劈板；所述缩束望远镜包括光纤点源、位于光纤点源出射光路中的半透半反棱镜、位于半透半反棱镜反射光路中的第一准直镜及依次位于半透半反棱镜透射光路中的小孔板、第二准直镜及CCD相机，所述小孔板位于CCD相机的焦面位置处。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所，未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810253356.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
