[发明专利]用于在光子集成电路中的应用的MEMS倾斜反射镜有效
| 申请号： | 201810246481.2 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108983369B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 凯文·Y·亚苏穆拉;利芬·维尔斯莱格斯;吉尔·D·贝格尔 | 申请（专利权）人： | 谷歌有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/293;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 周亚荣;安翔 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及用于在光子集成电路中的应用的MEMS倾斜反射镜。一种集成光学组件包括光学器件安装部。光学器件安装部上设置有用于提供光束的光源和被配置为用于聚焦光束的透镜。集成光学组件包括机械耦合到光学器件安装部的光子集成电路(PIC)。PIC在其上设置有用于接收光束并将光束耦合到波导中的光栅耦合器。集成光学组件包括微机电系统(MEMS)反射镜，其被配置为接收来自透镜的光束并将所述光束重定向到光栅耦合器。MEMS反射镜的反射部分的位置是可调整的，以影响所述光束在光栅耦合器上的入射角。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光子 集成电路 中的 应用 mems 倾斜 反射 | ||
【主权项】：
1.一种集成光学组件，包括：光学器件安装部，其上设置有用于提供光束的光源和被配置为聚焦所述光束的透镜；光子集成电路(PIC)，其机械耦合到所述光学器件安装部并且在其上设置有用于接收所述光束并将所述光束耦合到波导中的光栅耦合器；以及微机电系统(MEMS)反射镜，其被配置为接收来自所述透镜的所述光束并将所述光束重定向到所述光栅耦合器，其中，所述MEMS反射镜的反射部分的位置是可调整的，以影响所述光束在所述光栅耦合器上的入射角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谷歌有限责任公司，未经谷歌有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810246481.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种易于识别的跳纤
- 下一篇：用于表征光模块中的光学组件的位置的系统和方法
