[发明专利]多孔薄膜观测窗口

摘要

本发明公开了一种多孔薄膜观测窗口，包括：衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观测凹槽；并且，所述观测凹槽还贯穿位于所述第一表面或所述第二表面上的所述薄膜；未被所述观测凹槽贯穿的薄膜上间隔设置有多个贯穿该薄膜的通孔，所述通孔与所述观测凹槽相对应，以通过各所述通孔观测样品。本发明的多孔薄膜观测窗口，可以通过所设置的通孔，观测延伸出该通孔或架于该通孔上方的部分样品，实现对样品的高分辨率成像。 1

主权项

1.一种多孔薄膜观测窗口，其特征在于，包括：

衬底，其包括相对设置的第一表面和第二表面；

预定厚度的薄膜，其设置在所述第一表面和所述第二表面上，所述薄膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸一致；

所述衬底上还设置有贯穿所述第一表面和所述第二表面的观测凹槽；并且，所述观测凹槽还贯穿位于所述第一表面或所述第二表面上的所述薄膜；

未被所述观测凹槽贯穿的薄膜上间隔设置有多个贯穿该薄膜的通孔，所述通孔与所述观测凹槽相对应，以通过各所述通孔观测样品。

2.根据权利要求1所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，未被所述观测凹槽贯穿的薄膜上还设置有多个坐标标识，各所述坐标标识对应一个或多个所述通孔。

3.根据权利要求2所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，所述多个通孔呈阵列排布，并且，所述通孔的尺寸小于所述样品的尺寸。

4.根据权利要求3所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，被所述观测凹槽所贯穿的所述薄膜划分成四个象限区域，各象限区域内均阵列分布有多个所述通孔。

5.根据权利要求4所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，各象限区域内划分有四个子象限区域，各子象限区域内均阵列分布有多个所述通孔，并且，各子象限区域内均设置有至少一个所述坐标标识。

6.根据权利要求5所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，各子像素区域内的各所述通孔之间的距离为0.1～100μm。

7.根据权利要求5所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，各所述通孔的直径为0.1～100μm。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，所述观测凹槽的尺寸为0.05～20mm。

9.根据权利要求1至7中任意一项所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，所述薄膜的预定厚度为1‑500nm；和/或，

所述薄膜的制作材料包括硅、氮化硅、氧化硅和碳化硅中的任意一者。

10.根据权利要求1至7中任意一项所述的多孔薄膜观测窗口，其特征在于，所述衬底的厚度为50‑1000um；和/或，

所述衬底为N型或P型单晶硅。