[发明专利]电子探针显微分析仪及存储介质有效
| 申请号： | 201810239416.7 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN109216142B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 坂前浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;H01J37/252;G01N23/2252 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子探针显微分析仪以及存储介质，能够在比较短的时间内求得测量区域内存在的物质的种类和分布、以及各物质的正确的组分信息。EDS5检测从试样产生的X射线以获取第1光谱数据。WDS6检测从试样产生的X射线以获取第2光谱数据。相分布图生成处理部(11)，基于针对试样表面上的测量区域内的各像素获取的第1光谱数据，生成测量区域内的试样中的物质的相分布图。组分信息获取处理部(13)，相应于相分布图的各相，基于针对测量区域内的代表性像素在试样上所处的位置获取的第2光谱数据，获取各相的元素组分信息。 | ||
| 搜索关键词： | 电子探针 显微 分析 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种电子探针显微分析仪，其特征在于，具备：电子束照射部，将电子束照射至试样而使试样产生X射线；能量色散型X射线分光器，检测从试样产生的X射线以获取第1光谱数据；波长色散型X射线分光器，检测从试样产生的X射线以获取第2光谱数据；相分布图生成处理部，基于针对试样表面上的测量区域内的各像素获取的所述第1光谱数据，生成所述测量区域内的试样中的物质的相分布图；组分信息获取处理部，相应于所述相分布图的各相，基于针对所述测量区域内的代表性像素在试样上所处的位置获取的所述第2光谱数据，获取各相的元素组分信息。
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