[发明专利]用于高温环境下测量热流的薄膜传感器及其制作方法

摘要

本发明用于高温环境下测量热流的薄膜传感器及其制作方法，属于薄膜传感器技术领域；所要解决的技术问题是提供了提升热流传感器灵敏度，在高温环境中稳定工作和实现热电势信号稳定读取的工艺简单的薄膜传感器；解决该技术问题采用的技术方案为：本传感器包括微米级陶瓷基底、热电偶堆、上温度梯度隔离层、下温度梯度隔离层、正极引出电极和负极引出电极，正极引出电极和负极引出电极印刷在引出电极基底上，热电偶堆印刷在热电偶堆基底上，热电偶堆包括多对正极和负极热电偶，多对热电偶首尾相连，循环环绕串联；本发明还提供上述传感器的制作方法；本发明可广泛应用于温度梯度测量领域。

主权项

1.一种用于高温环境下测量热流的薄膜传感器，其特征在于：包括微米级陶瓷基底（1）、热电偶堆（2）、上温度梯度隔离层（3）、下温度梯度隔离层（5）、正极引出电极（9）和负极引出电极（8）；微米级陶瓷基底（1）包括热电偶堆基底（10）和引出电极基底（11），热电偶堆基底（10）为圆形，热电偶堆基底（10）和引出电极基底（11）为一体成型，正极引出电极（9）和负极引出电极（8）印刷在引出电极基底（11）上，热电偶堆（2）印刷在热电偶堆基底（10）上，热电偶堆（2）包括多个正极热电偶和多个负极热电偶，一个正极热电偶和一个负极热电偶串联形成一对热电偶，多对热电偶首尾相连，热电偶堆（2）的首端设置在热电偶堆基底（10）的外沿处，热电偶堆（2）的首端与正极引出电极（9）相连，热电偶堆（2）的中段沿热电偶堆基底（10）的径向由若干个C形热电偶圈组成，热电偶堆（2）的尾端与负极引出电极（8）相连；热电偶堆基底（10）的上方涂刷有上温度梯度隔离层（3），上温度梯度隔离层（3）覆盖热电偶堆（2）的全部冷结点，热电偶堆基底（10）的下方涂刷有下温度梯度隔离层（5）。