[发明专利]一种压电驱动的单自由度光学检测平台及使用方法在审

专利信息
申请号: 201810229764.6 申请日: 2018-03-20
公开(公告)号: CN108444915A 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 闫鹏;汪越;鲁帅帅;张志名 申请(专利权)人: 山东大学苏州研究院
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/59
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 陈晓敏
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种压电驱动的单自由度光学检测平台及使用方法,包括驱动平台,驱动平台具有上部开口的中空结构,驱动平台顶端具有四个对称分布的板簧铰链,四个板簧铰链一端与驱动平台连接,另一端连接末端平台的四个角处,所述末端平台底面连接位于中空结构内部的杠杆放大机构,杠杆放大机构及驱动平台分别与驱动装置的两端连接,将驱动装置产生的伸缩变形通过杠杆放大机构放大传递给末端平台,使末端平台产生沿驱动平台轴向方向的位移,所述末端平台中心及驱动平台底部具有同心的通光孔,末端平台上安装有精密镜架,所述末端平台的侧面上安装有检测机构,本发明的光学检测平台行程大、负载能力强,分辨率高,响应速度快,可操作性强。
搜索关键词: 末端平台 驱动平台 杠杆放大机构 光学检测平台 单自由度 驱动装置 压电驱动 中空结构 板簧 铰链 对称分布 负载能力 上部开口 伸缩变形 一端连接 轴向方向 通光孔 同心的 分辨率 底面 角处 镜架 精密 放大 侧面 传递 响应
【主权项】:
1.一种压电驱动的单自由度光学检测平台,其特征在于,包括驱动平台,所述驱动平台具有上部开口的中空结构,所述驱动平台顶端具有四个对称分布的板簧铰链,四个板簧铰链一端与驱动平台连接,另一端连接末端平台的四个角处,所述末端平台底面连接位于中空结构内部的杠杆放大机构,所述杠杆放大机构及驱动平台分别与驱动装置的两端连接,将驱动装置产生的沿驱动平台轴线方向的伸缩变形通过杠杆放大机构放大传递给末端平台,使末端平台产生沿驱动平台轴向方向的位移,所述末端平台中心及驱动平台底部具有同心的通光孔,末端平台上安装有精密镜架,所述末端平台的侧面上安装有检测机构。
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