[发明专利]一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统

摘要

本发明公开了一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统，该控制系统通过通讯接口接收上位机发送的指令和数据，通过解析和坐标变换后,控制动镜进行五自由度动镜在线调整，对投影光刻机中由物镜加工误差和物镜装调误差进行像差补偿，提高成像质量，而从保证投影光刻机的光刻质量。其中，动镜通讯接口用于实现上位机和控制系统的信息交互；数据解析模块实现对上位机的数据进行分析和解析，并完成坐标变换、数据判断等运算；动镜运动控制模块和五路驱动放大电路，实现动镜的五自由度在线调整；动镜位置检测模块和五路滤波模数转换模块，实现对动镜的五自由度位置信息的获取，并用于动镜控制模块的闭环。

主权项

1.一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统，其特征在于，该系统包括与上位机进行通讯的通讯接口部分、数据解析部分、动镜五自由度运动控制部分及动镜五自由度位置检测部分；所述的通讯接口部分采用以太网接口及标准TCP/IP协议实现与上位机的信息交互，其功能包括接收上位机发送的指令和数据以及向上位发送控制系统的状态数据；所述的数据解析部分实现对上位机的数据进行分析和解析，并完成坐标变换、数据判断运算；所述的动镜五自由度运动控制部分，包括动镜运动控制模块、五路驱动放大电路；动镜运动控制模块与五路驱动放大电路之间通过输入输出接口进行连接，五路驱动放大电路分别连接五个压电陶瓷直线作动器，作用于动镜五自由度在线调整装置，实现动镜在水平X向、水平Y向、垂直Z向、俯仰θy及偏摆θx的五自由度在线调整；所述的动镜五自由度位置检测部分，包括动镜位置检测模块、五路滤波A/D转换电路；动镜位置检测模块与五路滤波A/D转换电路之间通过输入输出接口进行连接，五路滤波A/D转换电路分别连接位于动镜五自由度在线调整装置中的五个电容式位置传感器，实现对动镜在水平X向、水平Y向、垂直Z向、俯仰θy及偏摆θx的五自由度在线检测。