[发明专利]一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平装置在审
| 申请号： | 201810226365.4 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108303863A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 李永强;吴琼;杨宇航;何伟 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平装置，包括固定底板、第一U型支撑架、第二U型支撑架、四个相机支撑架和四个CCD；所述第一U型支撑架和第二U型支撑架横向设置且两者的敞口端相对设置，两者的下侧板均安装在固定底板上，两者的上侧板上均安装两个相机支撑架；所述四个CCD一一对应安装在四个相机支撑架上，且所述四个CCD的相对位置关系与光刻设备光学系统投影图的边缘四角位置相对应。本发明利用多个相机同时观察DMD调试过程中的动态变化，实现了对DMD平行性的实时观测调试，有效提高了DMD平行性的调试效率。本发明结构简单，设计合理，精度可控制在10um以内，符合生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 相机支撑架 光刻设备 光学系统 调平装置 固定底板 大倍率 平行性 相对位置关系 调试过程 调试效率 动态变化 横向设置 生产需求 实时观测 四角位置 相对设置 敞口端 可控制 上侧板 投影图 下侧板 调试 相机 观察 | ||
【主权项】：
1.一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平装置，其特征在于：该装置包括固定底板、第一U型支撑架、第二U型支撑架、四个相机支撑架和四个CCD；所述第一U型支撑架和第二U型支撑架横向设置且两者的敞口端相对设置，两者的下侧板均安装在固定底板上，两者的上侧板上均安装两个相机支撑架；所述四个CCD一一对应安装在四个相机支撑架上，且所述四个CCD的相对位置关系与光刻设备光学系统投影图的边缘四角位置相对应。
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