[发明专利]压电元件及其制造方法、喷出头、超声波及液体喷出装置在审
| 申请号： | 201810222380.1 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108630802A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 小岛力;大桥幸司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/27;H01L41/29;H04R17/00;B41J2/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及压电元件及其制造方法、喷出头、超声波及液体喷出装置。在基材的开口部和壁部设置支承膜，在支承膜的和开口部对应的第一区域以及和壁部对应的第二区域设置压电膜，使设置在第二区域之上的压电膜的膜厚小于设置于第一区域的压电膜的膜厚。因此，压电膜中用于振动的区域处的振动变大，不用于振动的区域处的振动变小，从而改善压电元件的振动特性损失等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 压电膜 压电元件 液体喷出装置 第二区域 第一区域 超声波 开口部 喷出头 支承膜 壁部 膜厚 振动特性 变小 基材 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，其特征在于，具备：基材，具有贯通的多个开口部和设置在多个所述开口部之间的壁部；薄膜，设置于封闭所述开口部的第一区域和所述壁部上的第二区域；以及压电膜，设置在所述第一区域及所述第二区域的薄膜上，设置在所述第二区域的薄膜上的压电膜的膜厚小于设置在所述第一区域的薄膜上的压电膜的膜厚。
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