[发明专利]一种真空设备外部环境模拟装置及方法在审

专利信息
申请号: 201810214302.7 申请日: 2018-03-15
公开(公告)号: CN108254211A 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 赫梓宇;周永胜;郭子学;姜秀珍;李德鑫;岳超;王永华 申请(专利权)人: 核工业理化工程研究院
主分类号: G01M99/00 分类号: G01M99/00
代理公司: 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 代理人: 周庆路
地址: 300180 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种真空设备外部环境模拟装置及方法,包括用以安放所述的真空设备的金属罩、稳压罐、水蒸气发生器、干燥空气发生器和真空泵机组,该装置能够在真空设备外部制造出0至1.3个大气压的压力,0℃至90℃的环境温度,0%RH至100%RH的环境湿度,并保证环境条件的相对稳定。
搜索关键词: 真空设备 模拟装置 外部环境 干燥空气发生器 水蒸气发生器 真空泵机组 金属罩 稳压罐 外部 制造 保证
【主权项】:
1.一种真空设备外部环境模拟装置,其特征在于:包括用以安放所述的真空设备的金属罩、稳压罐、水蒸气发生器、干燥空气发生器和真空泵机组,在金属罩上设置有第一薄膜压力计和第一温湿度计,金属罩与循环水系统连通,金属罩通过管路与稳压罐相连通,金属罩通过管路与水蒸气发生器连通,金属罩通过管路与真空泵机组连通。
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