[发明专利]一种真空设备外部环境模拟装置及方法

权利要求书

1.一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：包括用以安放所述的真空设备的金属罩、稳压罐、水蒸气发生器、干燥空气发生器和真空泵机组，在金属罩上设置有第一薄膜压力计和第一温湿度计，金属罩与循环水系统连通，金属罩通过管路与稳压罐相连通，金属罩通过管路与水蒸气发生器连通，金属罩通过管路与真空泵机组连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：在所述金属罩表面设置有第一观察窗。

3.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：在所述金属罩与稳压罐连通的管路上设置有第一进气阀。

4.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述干燥空气发生器包括高纯氮气容器和第三进气阀，高纯氮气容器内的氮气纯度大于99.9％。

5.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：在所述金属罩与水蒸气发生器连通的管路上设置有第二进气阀。

6.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述水蒸气发生器包括水位计、盛水容器、加热器和排水阀，加热器设置于盛水容器的底部，盛水容器的一侧设置有水位计，在盛水容器的排水管路上设置有排水阀。

7.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述稳压罐表面设置有第二观察窗。

8.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述稳压罐上第二薄膜压力计和第二温湿度计，第二薄膜压力计的量程为1000torr，精度为0.5％，第二温湿度计的温度量程为-20℃～100℃，精度为±0.5℃，湿度量程为0～100％RH，精度为±3％RH。

9.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述第一薄膜压力计的量程为1000torr，精度为0.5％。

10.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述第一温湿度计的温度量程为-20℃～100℃，精度为±0.5℃，湿度量程为0～100％RH，精度为±3％RH。

11.根据权利要求1所述的一种真空设备外部环境模拟装置，其特征在于：所述真空泵机组的极限真空优于0.1Pa。

12.一种真空设备外部环境模拟方法，其特征在于，按照下列步骤进行：

步骤一、将真空设备放入金属罩内；

步骤二、通过真空泵机组对金属罩进行抽真空，使系统压力降至1Pa以下；

步骤三、通过循环水系统向金属罩外部通入循环水，通过第一温湿度计测定温度，使金属罩内温度保持环境模拟温度；

步骤四、通过高纯氮气容器向金属罩供入高纯氮气，通过薄膜压力计监测压力，使金属罩内压力环境达到环境模拟气压；

步骤五、通过加热器加热盛水容器，使其达到100℃，依次开启第二进气阀、第三阀门，并保证第四阀门开启，使水蒸气进入金属罩，使金属罩内达到环境模拟气压湿度。

步骤六、模拟过程中，当压力降低时通过高纯氮气容器、第三进气阀、第四阀门进行补压，当压力升高时，通过真空泵机组、第四阀门进行抽空降压，使环境压力满足要求，配合第二进气阀、第三阀门，向金属罩内补充水蒸气，实现湿度的微调，使得金属罩内保持压力环境模拟压力、温度及湿度。

13.根据权利要求12所述的一种真空设备外部环境模拟方法，其特征在于：所述环境模拟压力为0至1.3个大气压。

14.根据权利要求12所述的一种真空设备外部环境模拟方法，其特征在于：所述环境模拟温度为0℃至90℃。

15.根据权利要求12所述的一种真空设备外部环境模拟方法，其特征在于：所述环境模拟湿度为0％RH至100％RH。