[发明专利]抗微动磨损与耐腐蚀一体化TiAlN/CuNiIn/Cr多层复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201810214066.9 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108396293B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 刘安强;于月光;袁建鹏;王玉;章德铭;沈婕;李振铎;邓霞;马春春 | 申请（专利权）人： | 北京矿冶科技集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 周新楣 |
| 地址： | 100160 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗微动磨损与耐腐蚀一体化TiAlN/CuNiIn/Cr多层复合薄膜及其制备方法，多层复合薄膜包括基片，基片上设有多层调制单元层，多层调制单元层经过交替循环沉积形成周期排列，每层调制单元层包括自下而上由Cr层、CuNiIn层与TiAlN层。制备方法包括预处理、溅射清洗、金属Cr层制备、CuNiIn层制备等步骤，经过多次周期性循环交替沉积后，膜层总厚度为1～45μm。具有优良的抗高温氧化、抗高温微动损伤、优异的耐腐蚀与强韧一体化功能特性，可用于航空发动机传动轴花键表面抗微动磨损与耐腐蚀防护，还可作为轴承、齿轮、刀具等部件表面的抗微动磨损与耐腐蚀防护涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 微动 磨损 腐蚀 一体化 tialn cuniin cr 多层 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗微动磨损与耐腐蚀一体化TiAlN/CuNiIn/Cr多层复合薄膜，其特征在于，包括基片，所述基片上设有一层或多层调制单元层，多层调制单元层经过交替循环沉积形成周期排列，每层调制单元层包括自下而上由Cr层、CuNiIn层与TiAlN层。
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