[发明专利]基于金属有机框架材料的柔性传感器件及其制作方法在审
| 申请号： | 201810198005.8 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108444500A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄显;凌伟;徐航 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D5/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 300354 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基于金属有机框架材料的柔性传感器件及其制作方法，该柔性传感器件包括：柔性基底层；传感层，形成于柔性基底层上；以及MOFs膜，形成于传感层上，该MOFs膜上负载有MOFs颗粒，该MOFs颗粒粒径为微纳米级；其中，MOFs膜能够对待测物理量产生光学或电学感应，该光学或电学感应能够通过所述传感层以电信号形式进行传导。进一步提供了该柔性传感器件的制作方法。本公开将MOFs材料与柔性传感器件相结合，能够实现对多种参数的测量，能够满足在基底材料可弯折等特定要求的场合下使用。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性传感器 传感层 金属有机框架材料 柔性基底层 电学感应 物理量 制作 电信号形式 基底材料 颗粒粒径 微纳米级 可弯折 传导 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属有机框架材料的柔性传感器件，包括：柔性基底层；传感层，形成于所述柔性基底层上；以及MOFs膜，形成于所述传感层上，该MOFs膜中负载有MOFs颗粒，该MOFs颗粒粒径为微纳米级；其中，所述MOFs膜能够对待测物理量产生光学或电学感应，该光学或电学感应能够通过所述传感层以电信号形式进行传导。
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