[发明专利]计测装置有效
| 申请号： | 201810195661.2 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108620954B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 饭岛一宪 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | B23Q17/24 | 分类号： | B23Q17/24;B23Q17/20 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 金成哲;王莉莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供在机床所使用的机载测定装置中能精密测定计测对象的表面微细构造的深度方向的形状的结构。机载计测装置具备：使计测对象的被切削材料相对于激光光源相对地移动来进行激光的扫描照射的移动机构；使来自激光光源的光垂直入射至被切削材料的半透半反镜；将在被切削材料散射、衍射、反射后的光进行聚光的透镜；透镜的透射光的聚焦图像的投影面；将投影面的光信号变换成电信号并输出模拟信号的受光元件阵列；及计算机，其以时间序列存储基于由来自受光元件阵列的模拟信号变换而得的数字信号并由激光的扫描照射而用受光元件阵列得到的受光信息，并将以时间序列所存储的受光信息变换成空间信息生成光学衍射像，根据所生成的光学衍射像获取光强度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 受光元件阵列 被切削材料 透镜 光学衍射 激光光源 计测装置 时间序列 受光信息 计测 照射 存储 激光 扫描 模拟信号变换 输出模拟信号 半透半反镜 光强度分布 光信号变换 测定装置 垂直入射 聚焦图像 空间信息 数字信号 微细构造 移动机构 聚光的 投影面 透射光 散射 衍射 反射 投影 机床 精密 计算机 移动 | ||
【主权项】：
1.一种计测装置，其是配置于机床且将加工对象物作为计测对象来进行计测的机载计测装置，其特征在于，具备：/n激光光源，其照射激光；/n移动机构，其使所述计测对象相对于所述激光光源相对地移动来进行激光的扫描照射；/n半透半反镜，其使来自所述激光光源的光垂直入射至所述计测对象；/n透镜，其将在所述计测对象散射、衍射、反射后的光进行聚光；/n所述透镜的透射光的聚焦图像的投影面；/n受光元件部，其将所述投影面的光信号变换成电信号并输出模拟信号；/nA/D变换部，其将来自所述受光元件部的模拟信号变换成数字信号；以及/n计算机，其与A/D变换部连接，/n所述移动机构构成为，/n能够使所述半透半反镜、所述激光光源、所述透镜以及所述投影面的位置相对地移动，以便能够保持所设定的焦距，并以与所述计测对象的位置调整的速度对应的速度来调节所述半透半反镜的旋转角度，维持垂直入射，/n所述计算机构成为，/n以时间序列存储由激光的扫描照射而用所述受光元件部得到的受光信息，并将以时间序列存储的受光信息变换成激光照射扫描的坐标，计算所述计测对象的表面的各点的光强度，获取光强度分布，/n根据所获取到的光强度分布来计算微细构造的几何尺寸以及表面粗糙度。/n
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