[发明专利]一种微型真空传感器在审
| 申请号： | 201810193621.4 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108507717A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 马永杰;张庆瑜;肖静祎 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于真空测量技术领域，涉及一种微型真空传感器。该传感器包括衬底、敏感元件、阳极、阴极、电极导线和直流恒流电源；衬底由绝缘绝热的材料制成；敏感元件由钴基镧系钙钛矿材料制成，沉积在衬底上；阳极和阴极分别固定在敏感元件的两端，并通过电极导线分别与直流恒流电源的两极相连。本发明通过测量敏感元件电阻的大小即可间接测量出真空度的大小，由于该装置的尺寸小并且可以在较低电流的驱动下实现测量，无需大体积的真空测量装置以及高电流高电压的测试条件，既安全又便于测量。本发明利用了镧系钴基钙钛矿材料具有的高电阻温度系数的特点，以及绝热衬底对热量保持的优势，实现了微型化的同时，对真空度实现高灵敏度稳定测量。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 敏感元件 微型真空传感器 阴极 直流恒流电源 钙钛矿材料 绝热 阳极 电极导线 钴基 镧系 测量 高电阻温度系数 测量敏感元件 真空测量装置 微型化 测试条件 高灵敏度 间接测量 热量保持 稳定测量 真空测量 低电流 高电流 高电压 传感器 电阻 沉积 绝缘 两极 驱动 安全 | ||
【主权项】：
1.一种微型真空传感器，其特征在于，该微型真空传感器包括衬底(1)、敏感元件(2)、阳极(3)、阴极(4)、电极导线(5)和直流恒流电源(6)；所述的衬底(1)，由绝缘绝热的材料制成；所述的敏感元件(2)，由钴基镧系钙钛矿材料制成，沉积在衬底(1)上；所述的阳极(3)和阴极(4)，由导电性的金属材料制成，阳极(3)和阴极(4)的分别固定在敏感元件(2)的两端；阳极(3)和阴极(4)的通过电极导线(5)，分别与直流恒流电源(6)的两极相连。
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