[发明专利]一种微型真空传感器在审
| 申请号： | 201810193621.4 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108507717A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 马永杰;张庆瑜;肖静祎 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 敏感元件 微型真空传感器 阴极 直流恒流电源 钙钛矿材料 绝热 阳极 电极导线 钴基 镧系 测量 高电阻温度系数 测量敏感元件 真空测量装置 微型化 测试条件 高灵敏度 间接测量 热量保持 稳定测量 真空测量 低电流 高电流 高电压 传感器 电阻 沉积 绝缘 两极 驱动 安全 | ||
1.一种微型真空传感器，其特征在于，该微型真空传感器包括衬底(1)、敏感元件(2)、阳极(3)、阴极(4)、电极导线(5)和直流恒流电源(6)；
所述的衬底(1)，由绝缘绝热的材料制成；所述的敏感元件(2)，由钴基镧系钙钛矿材料制成，沉积在衬底(1)上；所述的阳极(3)和阴极(4)，由导电性的金属材料制成，阳极(3)和阴极(4)的分别固定在敏感元件(2)的两端；阳极(3)和阴极(4)的通过电极导线(5)，分别与直流恒流电源(6)的两极相连。
2.根据权利要求1所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的衬底(1)的材料为氧化镁、钛酸锶、钴酸镧或云母。
3.根据权利要求1或2所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的敏感元件(2)，通过磁控溅射镀膜、脉冲激光沉积或溶胶凝胶的方法将钴基镧系钙钛矿材料沉积在衬底(1)上，厚度为10纳米～10微米，敏感元件(2)的结构为薄膜或采用微加工工艺制作的图形化结构。
4.根据权利要求1或2所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的敏感元件(2)，通过微加工工艺制作的图形化结构为薄膜型、直线型或蛇形。
5.根据权利要求3所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的敏感元件(2)，通过微加工工艺制作的图形化结构为薄膜型、直线型或蛇形。
6.根据权利要求1、2或5所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的阳极(3)和阴极(4)的材料为金、铝、镍、铜、铂或银。
7.根据权利要求3所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的阳极(3)和阴极(4)的材料为金、铝、镍、铜、铂或银。
8.根据权利要求4所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的阳极(3)和阴极(4)的材料为金、铝、镍、铜、铂或银。
9.根据权利要求1、2、5、7或8所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的直流恒流电源(6)，提供10-1000微安的电流。
10.根据权利要求6所述的一种微型真空传感器，其特征在于，所述的直流恒流电源(6)，提供10-1000微安的电流。
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