[发明专利]一种蒸镀基板分离装置及蒸镀装置

摘要

本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀基板分离装置及蒸镀装置，该蒸镀基板分离装置包括：多个顶针机构，每个顶针机构包括：设于载板背离其承载面一侧的支架；设于支架朝向载板一侧的多个顶针，多个顶针绕一垂直于承载面的中心线周向分布，多个顶针中，每个顶针安装于支架，每个顶针的一端形成支撑端；用于驱动每个顶针在第一工位与第二工位之间切换的驱动组件。该蒸镀基板分离装置中，多个顶针接触并支撑基板，增多了基板局部的受力点，且在分离过程中每个顶针的支撑端与基板的接触相抵的位置发生变化，避免在分离过程中基板在受力位置受力时间过长，有效降低基板与顶针支撑端接触的部位发生膜层结构变化的风险。

主权项

1.一种蒸镀基板分离装置，包括用于承载基板的载板，所述载板一侧的表面形成用于承载所述基板的承载面，所述载板设有多个沿垂直于所述承载面的方向贯穿所述载板的开孔，其特征在于，还包括：用于与所述开孔一一对应的多个顶针机构，每个顶针机构包括：设于所述载板背离其承载面一侧的支架；设于所述支架朝向所述载板一侧的多个顶针，多个所述顶针绕一垂直于所述承载面的中心线周向分布，多个所述顶针中，每个所述顶针安装于所述支架，每个所述顶针的一端形成用于穿过所述开孔与所述基板相抵并给所述基板提供支撑力的支撑端；当每个所述顶针处于第一工位时，所述每个顶针的支撑端收容于所述开孔内，以使所述基板与所述载板处于连接状态；当每个所述顶针处于第二工位时，所述每个顶针的支撑端伸出所述承载面用于与所述基板朝向所述承载面的表面相抵并支撑所述基板，以使所述基板与所述载板处于分离状态；其中，每个所述顶针在第一工位与第二工位之间切换过程中，所述支撑端的位移包括垂直于所述承载面的方向上的位移分量、以及沿与所述承载面平行的方向上的位移分量；用于驱动每个所述顶针在所述第一工位与第二工位之间切换的驱动组件。