[发明专利]压电式麦克风在审
申请号: | 201810174566.4 | 申请日: | 2018-03-02 |
公开(公告)号: | CN108337617A | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 缪建民;陈欣悦 | 申请(专利权)人: | 上海微联传感科技有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电式麦克风,包括:衬底;设置在所述衬底上的压电振膜,所述压电振膜与所述衬底之间形成有悬空腔;设置在所述悬空腔下方的声孔,所述声孔纵向贯穿所述衬底,且所述声孔的横截面积小于所述压电振膜的横截面积;所述压电振膜包括至少两个谐振频率不同的组成部分。本发明实施例提供的压电式麦克风的压电振膜包括至少两个谐振频率不同的组成部分,整个振膜具有不同的谐振频率,可以改善麦克风的频谱,增大带宽。 | ||
搜索关键词: | 振膜 压电 衬底 压电式麦克风 谐振频率 声孔 悬空 纵向贯穿 麦克风 频谱 带宽 | ||
【主权项】:
1.一种压电式麦克风,其特征在于,包括:衬底;设置在所述衬底上的压电振膜,所述压电振膜与所述衬底之间形成有悬空腔;设置在所述悬空腔下方的声孔,所述声孔纵向贯穿所述衬底,且所述声孔的横截面积小于所述压电振膜的横截面积;所述压电振膜包括至少两个谐振频率不同的组成部分。
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