[发明专利]标注装置、缺陷检查系统以及膜制造方法在审
申请号: | 201810170417.0 | 申请日: | 2018-02-28 |
公开(公告)号: | CN108535275A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 井村圭太;越野哲史 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | G01N21/896 | 分类号: | G01N21/896 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供即使从射出孔射出液滴时飞溅有飞沫,也能够抑制飞沫附着于膜的缺陷位置以外的区域,从而提高产品的成品率的标注装置、缺陷检查系统以及膜制造方法。标注装置能够通过对光学膜射出液滴而标注信息,其中,标注装置具备:液滴射出装置,其具有形成有向光学膜射出液滴的射出孔的射出面;以及遮挡构件,其设置于射出面,且能够遮挡从射出孔射出液滴时飞溅的飞沫,在遮挡构件形成有开口部,该开口部在与射出孔对置的位置开口,并且具有遮挡向与射出面的法线交叉的方向飞溅的飞沫的内壁面。 | ||
搜索关键词: | 液滴 标注装置 射出孔 飞沫 射出 射出面 飞溅 缺陷检查系统 遮挡构件 光学膜 开口部 遮挡 法线 标注信息 缺陷位置 射出装置 成品率 内壁面 对置 附着 有向 制造 开口 | ||
【主权项】:
1.一种标注装置,其能够通过对光学膜射出液滴而标注信息,其中,所述标注装置具备:液滴射出装置,其具有形成有向所述光学膜射出所述液滴的射出孔的射出面;以及遮挡构件,其设置于所述射出面,且能够遮挡从所述射出孔射出所述液滴时飞溅的飞沫,在所述遮挡构件形成有开口部,该开口部在与所述射出孔对置的位置开口,并且具有遮挡向与所述射出面的法线交叉的方向飞溅的所述飞沫的内壁面。
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