[发明专利]一种基于相干图像反馈的数字光成型方法

摘要

本发明公开了一种基于相干图像反馈的数字光成型方法，其特征是在数字光成型系统中引入激光干涉系统，通过激光干涉图形实时监控数字光成型系统中光刻胶对曝光剂量的响应情况。在曝光制作时，干涉图形会随着光刻胶吸收曝光剂量产生的折射率变化而产生形变，以此干涉图形的变化反馈光刻胶中已经曝光的深度，为曝光系统是否离焦提供在线检测依据，使得数字光成型系统的调焦系统形成闭环调节,从而实现对大纵深复杂微结构的精细数字光成型。本发明的优点是：使得数字光成型系统的调焦系统实现自适应闭环调节。可有效改善由于精缩透镜景深较小引起的大纵深复杂微结构数字光成型的纵向精度受限问题，实现对大纵深复杂微结构的精细数字光成型。

主权项

1.一种基于相干图像反馈的数字光成型方法，其特征在于方法步骤是：在数字光成型系统曝光制作时，精缩透镜将SLM调制的数字掩模精缩成像在基底上，同时一束激光通过分束器均分为两束相干光源，其中一束光经反射镜反射进入探测干涉信号的CCD，另一束经涂覆光刻胶的基底反射后也进入探测干涉信号的CCD，调整经反射镜直接反射进入CCD的光束的光程，使得这两束光在CCD表面形成稳定的干涉图形；然后通过CCD可实时将监测到的干涉图形传输到软件系统进行光刻胶接受曝光剂量的反馈计算，从而可以监测已经曝光的深度，为曝光系统是否离焦提供在线检测依据，即为数字光成型系统的自动调焦提供反馈依据，使得光成型系统的调焦系统形成闭环调节,进一步实现对大纵深复杂微结构的精细数字光成型。