[发明专利]一种ITO织构透明导电膜的制备方法

摘要

本发明属于透明导电膜加工技术领域，公开了一种ITO织构透明导电膜的制备方法，包括以下步骤：取玻璃，用洗涤剂在水槽中清洗干净，用冷热去离子水冲洗5分钟，放入烘箱中备用；用0.8mm直径钨丝在3mm直径的钢棒上加热绕制灯丝13圈，两端各留5cm备用，共两只；取长5cm，直径1.5cm石英管，中部烧制一个凹坑做载源坩埚；采用镀膜机，将两根灯丝套上石英舟紧固在加热电极上；圆形载片盘在中间挖20cm×20cm的方孔，在离开孔边缘10.5mm处紧固宽10mm，长100mm的金属条。本发明制备的ITO薄膜能够在漫射光下有足够的透过率，和对透入的光线有几乎全封闭能力。

主权项

1.一种ITO织构透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述ITO织构透明导电膜的制备方法包括以下步骤：步骤一，用钨丝在钢棒上加热绕制灯丝多圈；取石英管，中部烧制一个凹坑做载源坩埚；采用镀膜机，将灯丝套上坩埚紧固在加热电极上；步骤二，圆形载片盘在中间挖方孔，在离开孔边缘处紧固金属条；步骤三，在圆载片盘外边缘打三个孔；然后将圆载片盘用螺丝固定在转盘上；步骤四，打开电源，按下钟罩升按钮，待钟罩升至上限时，将清洁好的玻璃放在方孔上方，将铟和锡放入坩埚内，放下钟罩；步骤五，开启机械泵，通入氧气使钟罩内气压降低到原真空度的二分之一，关闭氧气；再开启扩散泵，打开高阀，抽钟罩真空，然后开启衬底加热电源并保持温度在375℃，旋开针阀，通入高纯氧，监视高真空测量计，打开工件旋转控制器并且调节转速；步骤六，打开蒸发源电源，旋动调压器转盘调节加热功率，打开挡板，控制膜的生长速率。