[发明专利]流体分析设备及系统有效
| 申请号： | 201810161191.8 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN108375622B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 罗德均;杜和平 | 申请（专利权）人： | 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 钟胜光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种流体分析设备，用于检测流体中目标成份的含量，该流体分析设备包括：分析仪，具有用于输入待检测流体的流体入口以及供电端口，该分析仪配置成分析通过所述流体入口而进入所述分析仪的所述待检测流体中的所述目标成份的含量，并输出指示所述含量的信号；受控开关，用于接收指示所述分析仪的运行模式的控制信号并根据所述运行模式控制所述分析仪与外部设备的连通。根据本发明流体分析设备可以在需要时自动地启动分析仪，并且在不需要时自动地关闭分析仪。 | ||
| 搜索关键词： | 分析仪 流体分析设备 待检测流体 流体入口 目标成份 自动地 外部设备 运行模式控制 供电端口 接收指示 控制信号 受控开关 输出指示 运行模式 分析 流体 连通 检测 配置 | ||
【主权项】：
1.一种气体分析设备，用于检测工艺室中目标气体的含量，该气体分析设备包括：分析仪，具有用于输入待检测气体的进气口以及供电端口，该分析仪配置成分析通过所述进气口而进入所述分析仪的所述待检测气体中的所述目标成份的含量，并输出指示所述含量的信号；受控开关，用于从控制装置接收指示所述分析仪的运行模式的控制信号并根据所述运行模式控制所述分析仪与外部电源与所述工艺室的连通，所述运行模式包括空闲模式与工作模式，其中在空闲模式下通过向所述工艺室吹入所述目标气体来恢复所述目标气体，而在工作模式下，将所述工艺室内的气体处理成惰性环境以使所述目标气体的含量达到标准工作阈值，其中，当从空闲模式进入工作模式时，所述受控开关接收所述控制装置延迟第一预定时间发出的指示进入所述工作模式的所述控制信号，以在所述第一预定时间期间保持所述分析仪与所述外部电源与所述工艺室的断开状态；当从工作模式进入空闲模式时，所述受控开关接收所述控制装置延迟一第二预定时间发出的指示进入所述空闲模式的所述控制信号，以在所述第二预定时间期间保持所述分析仪与所述外部电源与所述工艺室的连通状态，以持续对所述目标气体的检测。
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