[发明专利]控制在静电型衬底支撑结构上夹持绝缘体型衬底的方法有效
| 申请号： | 201810153421.6 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN108493088B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 刘金逸;丹尼尔·莱;拉吉塔·韦穆里;帕德马·戈帕拉克里希南 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及控制在静电型衬底支撑结构上夹持绝缘体型衬底的方法。绝缘体型衬底定位在衬底支撑结构的暴露于等离子体的支撑表面上。将初始钳位电压施加到衬底支撑结构内的电极以在支撑表面上快速积累电荷以保持衬底。背面冷却气体流入衬底和支撑表面之间的区域，并且监测背面冷却气体的泄漏率。将稳定的钳位电压施加到电极，并且以步进方式调整稳定的钳位电压，以将背面冷却气体的监测到的泄漏率保持在刚好小于最大容许泄漏率。或者，向电极施加脉冲钳位电压，并且调整脉冲钳位电压以将背面冷却气体的监测到的泄漏率保持在刚好小于最大容许泄漏率。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 静电 衬底 支撑 结构 夹持 绝缘 体型 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制施加到衬底支撑结构以保持绝缘体型衬底的钳位电压的方法，其包括：将所述绝缘体型衬底定位在所述衬底支撑结构的支撑表面上；将初始钳位电压施加到所述衬底支撑结构内的电极以在所述支撑表面上积聚足够的电荷以保持所述绝缘体型衬底；产生暴露于所述绝缘体型衬底的等离子体；使背面冷却气体流入所述绝缘体型衬底与所述衬底支撑结构之间的区域；监测来自所述绝缘体型衬底和所述衬底支撑结构之间的所述区域的所述背面冷却气体的泄漏率；以及在确定所述背面冷却气体的所述泄漏率小于最大容许泄漏率时，向所述衬底支撑结构内的所述电极施加减小的钳位电压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810153421.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
