[发明专利]一种沉积静电放电电流的校准装置和方法

摘要

本申请公开了一种沉积静电放电电流的校准装置和方法，解决了沉积静电放电电流的校准准确性的问题，所述装置包括被校准的沉积静电放电模拟器，放电靶，电阻，直流电压表，所述模拟器用于产生沉积静电放电电流，并向所述放电靶进行沉积静电放电；所述放电靶与所述电阻串联，用于接收所述模拟器产生的沉积静电并产生直流电流；所述电阻接地；所述直流电压表用于测量所述电阻的电压。所述方法包括以下步骤，调节高压产生器产生预定的沉积静电放电电流，记录所述电流表上的指示和直流电压表的指示；通过欧姆定律得到通过所述电阻的直流电流值；根据所述直流电流值对所述沉积静电放电电流值进行校准。本发明可以沉积静电放电电流进行精确校准。

主权项

1.一种沉积静电放电电流的校准装置，其特征在于，包括被校准的沉积静电放电模拟器，放电靶，电阻，直流电压表，所述模拟器用于产生沉积静电放电电流，并向所述放电靶进行沉积静电放电，所述模拟器的中心线与所述放电靶的中心线重合；所述放电靶与所述电阻串联，用于接收所述模拟器产生的沉积静电并产生直流电流，所述沉积静电放电电流等于所述直流电流；所述电阻接地，并与所述模拟器的接地线相连，所述直流电流通过电阻；所述直流电压表用于测量所述直流电流通过所述电阻时产生的电压。