[发明专利]雪崩光电二极管的抽充气密封系统及其操作方法在审

专利信息
申请号: 201810139887.0 申请日: 2018-02-11
公开(公告)号: CN108231948A 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 刘梦婕;徐焕银;刘云;苗春华;黄敦锋;卢耀文;王欢;李风雨;朱云芳;王笑言 申请(专利权)人: 安徽问天量子科技股份有限公司
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107;F16J15/10;B65D81/20;B65D81/18;B65D85/86;B65D25/54
代理公司: 江苏斐多律师事务所 32332 代理人: 王长征
地址: 241000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种雪崩光电二极管的抽充气密封系统及其操作方法,包括安装有雪崩光电二极管的密封盒、抽气系统和充气系统,密封盒包括盒盖、盒体和盒底,盒体的顶部四周和底部四周均设有一圈凹槽,所述凹槽内填充有氟胶圈,盒体的外侧面通过密封抽气法兰连接有密封阀,抽气系统包括真空计、抽气手动阀和旋片泵,密封阀分别与真空计和抽气手动阀连接,抽气手动阀与旋片泵连接,充气系统包括压阻规、充气微调阀和充气气瓶,密封阀分别与压阻规和充气微调阀连接,充气微调阀和充气气瓶连接。本发明密封效果好,且有效的防止雪崩二极管表面结露,阻止外部水蒸气进入。
搜索关键词: 雪崩光电二极管 密封阀 手动阀 微调阀 抽气 盒体 充气 抽充气密封系统 充气气瓶 充气系统 抽气系统 密封盒 旋片泵 真空计 压阻 水蒸气 密封效果好 雪崩二极管 抽气法兰 表面结 氟胶圈 圈凹槽 外侧面 盒盖 填充 密封 外部
【主权项】:
1.一种雪崩光电二极管的抽充气密封系统,其特征在于:包括安装有雪崩光电二极管的密封盒、抽气系统和充气系统,所述密封盒包括盒盖、盒体和盒底,所述盒体的顶部四周和底部四周均设有一圈凹槽,所述凹槽内填充有氟胶圈,所述盒体的顶部四周和底部四周均连接有向外侧突出的连接耳,所述盒盖通过螺钉与盒体顶部的连接耳连接且盒体顶部的氟胶圈位于盒体与盒盖之间,所述盒底通过螺钉与盒体底部的连接耳连接且盒体底部的氟胶圈位于盒体与盒底之间,所述盒体的外侧面通过密封抽气法兰连接有密封阀,所述抽气系统包括真空计、抽气手动阀和旋片泵,所述密封阀分别与真空计和抽气手动阀连接,所述抽气手动阀与旋片泵连接,所述充气系统包括压阻规、充气微调阀和充气气瓶,所述密封阀分别与压阻规和充气微调阀连接,所述充气微调阀和充气气瓶连接。
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