[发明专利]一种闭环微加速度计的敏感结构有效
| 申请号： | 201810137336.0 | 申请日： | 2018-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108344881B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 谢国芬;唐彬;杨杰;曲兵兵;许蔚;莫与明 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括：上电容极板、可动结构和下电容极板，可动结构位于上电容极板与下电容极板之间；可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块；边框包围在可动结构外侧；可动质量块的一侧通过悬臂梁固定于边框上；边框上表面通过第一绝缘层与上电容极板接触，边框下表面通过第二绝缘层与下电容极板接触。通过在上、下极板上分别制作等厚度的二氧化硅层，从而加大极板间的介电常数，改变极板间的等效电容，在相同极板间距和工作电压下提升静电力从而加大量程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 闭环 加速度计 敏感 结构 | ||
【主权项】：
1.一种闭环微加速度计的敏感结构，其特征在于，所述敏感结构包括：上电容极板、可动结构和下电容极板，所述可动结构位于所述上电容极板与所述下电容极板之间；所述上电容极板的下表面生长有第三绝缘层，所述下电容极板的上表面生长有第四绝缘层，所述第三绝缘层与所述第四绝缘层厚度相等；所述可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块；所述边框包围在所述可动结构外侧；所述可动质量块的一侧通过所述悬臂梁固定于所述边框上；所述边框上表面通过第一绝缘层与所述上电容极板接触，所述边框下表面通过第二绝缘层与所述下电容极板接触。
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