[发明专利]一种用于三维面形测量的干涉式光学探头

摘要

本发明公开了一种用于三维面形测量的干涉式光学探头，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式光学探头，解决使用现有非接触探头测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。

主权项

1.一种用于三维面形测量的干涉式光学探头，该光学探头由干涉光路组成，所述干涉光路包括光源、准直透镜、分束器、成像透镜、聚焦透镜、平面反射镜、球壳透镜、CCD图像传感器；以光源所在一侧为物方，所述光源发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束，参考光被垂直放置的平面反射镜反射后原路返回，再次通过分束器被成像透镜聚焦于CCD图像传感器上；透射过分束器的光作为测量光束，测量光束经过聚焦透镜后聚焦于聚焦透镜的像方焦点处；所述的球壳透镜内表面设置有半透半反膜，且球壳透镜放置在聚焦透镜与聚焦透镜的像方焦点之间，球壳透镜的球心与聚焦透镜的像方焦点重合。