[发明专利]微流体传感元件及其制作方法

摘要

一种微流体传感元件，包括位于基材上的第一图案化导电层，具有第一电极、第二电极及第三电极。疏水层位于第一图案化导电层上，用以承载流体。半导体沟道层具有沟道区与第三电极重叠，与第三电极隔离。第二图案化导电层具有源极和漏极，位于沟道区两侧，与半导体沟道层接触，与第三电极隔离。传感层与第三电极和半导体沟道层之一者接触，具有传感区与第三电极重叠，经由疏水层的开口暴露于外。控制电路与第一电极、第二电极和第三电极耦接，在第一电极、第二电极和第三电极至少二者间提供电压差，以驱动流体在疏水层和传感层上运动。

主权项

1.一种微流体传感元件，用以承载并传感一流体的一电化学特性，其特征在于，包括：一第一基材；一第一图案化导电层，位于该第一基材上，具有相互隔离，且依序邻接的一第一电极、一第二电极以及一第三电极；一第一疏水层，位于该第一图案化导电层上方，用以承载该流体；一半导体沟道层，具有一沟道区与该第三电极重叠，并与该第三电极隔离；一第二图案化导电层，具有一源极和一漏极，分别位于该沟道区的两侧，并与该沟道区接触，且与该第三电极隔离；一传感层，与该第三电极和该半导体沟道层之一者接触，且具有一传感区与该第三电极重叠，并经由该第一疏水层的一开口暴露于外；以及一控制电路，与该第一电极、该第二电极和该第三电极耦接，并在该第一电极、该第二电极和该第三电极至少二者之间提供至少一电压差，以驱动该流体在该第一疏水层和该传感层上运动。