[发明专利]一种确保多工位坐标正确的方法在审

专利信息
申请号: 201810127857.8 申请日: 2018-02-08
公开(公告)号: CN108459259A 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 王玉龙;牛勇;岳小兵;严霜霜;叶建明 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 吴宝根;徐颖
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种确保多工位坐标正确的方法,在探针台上的产品配置提取某一个管芯A的XY坐标位置和绝对位置信息,通过管芯大小、与管芯A之间的间隔和XY递增方向推算出其的XY坐标位置,植入测试台进行测试,直到所有需要测试的管芯都测试完成。通过使用绝对坐标替换相对坐标,不再需要人工进行site相对位置的配置,避免了设置错误,而从已有的参数中获取有用的信息,通过绝对位置的计算得到绝对正确的XY坐标,确保了测试的准确性。
搜索关键词: 管芯 测试 多工位 绝对位置信息 产品配置 方向推算 绝对位置 绝对坐标 测试台 探针 植入 替换 递增 配置
【主权项】:
1.一种确保多工位坐标正确的方法,在探针台上的产品配置中包含XY坐标最大最小的范围、XY坐标递增的方向、需要测试的管芯标识、管芯之间间隔多少、管芯大小、管芯的排列位置,其特征在于,先确定管芯A的XY坐标位置,查看在探针台中绝对位置,得到此管芯A在探针台绝对位置与XY坐标位置,开始测试,然后在管芯A测试时,获取下一个工位在探针台产品配置的绝对位置,通过管芯大小、与管芯A之间的间隔和XY递增方向推算出其XY坐标位置,植入测试台进行测试,直到所有需要测试的管芯都测试完成。
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