[发明专利]一种激光干涉式压电力显微镜的铁电畴极化方向判别方法

摘要

本发明提供的一种激光干涉式压电力显微镜的铁电畴极化方向判别方法，属于材料测试技术领域。本发明通过设定探针悬臂与样品的夹角，仅需一次测量，分析一组幅度图和相位图，即可准确判别样品的铁电畴面内极化与面外极化的方向，进而得到实际的极化分布。同时，由于激光干涉式压电力显微镜的便利性，使得该方法可以在超高真空、超低温度下进行测试，拓展了铁电材料的研究范围。

主权项

1.一种激光干涉式压电力显微镜的铁电畴极化方向判别方法，包括以下步骤：步骤1、建立空间直角坐标系，其中，a轴和b轴平行于待测样品惯用原胞的上表面，c轴垂直于惯用原胞的上表面；然后将待测样品中存在的极化方向分解到建立的空间直角坐标系中，沿c轴的极化称为面外极化，沿a轴和b轴的极化称为面内极化；步骤2、将待测样品放置于样品台上，调整步骤1空间直角坐标系中的a轴与探针悬臂的夹角使其小于45°，然后进针至探针针尖与待测样品表面接触；步骤3、在探针针尖与待测样品之间施加交流电压，然后对待测样品进行一次扫描，得到一张幅度图和一张相位图；步骤4、步骤3得到的相位图中，相位相差180°的区域分别具有沿c轴正方向或负方向的面外极化；而对于相位值相同的区域，根据步骤3得到的幅度图，得到具有最强信号的区域具有沿a轴正方向的面内极化，次强信号区域具有沿b轴正方向的面内极化，次弱信号区域具有沿b轴负方向的面内极化，最弱信号区域具有沿a轴负方向的面内极化；步骤5、将步骤4得到的分解到a轴、b轴和c轴上的极化强度按步骤1中分解的逆操作进行还原与合并，即可得到待测样品测试区域的铁电畴极化方向分布。