[发明专利]一种水平轴微机械陀螺在审

专利信息
申请号: 201810119594.6 申请日: 2018-02-06
公开(公告)号: CN108303073A 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 李桂新;张平 申请(专利权)人: 无锡微泰传感封测技术有限公司
主分类号: G01C19/5656 分类号: G01C19/5656
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 黄冠华
地址: 214135 江苏省无锡市新区菱*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种水平轴微机械陀螺,属于陀螺定位设备领域,包括外框和中心检测电极,所述外框通过驱动模态弹性梁与定锚点相连接,所述定锚点安装在金属网织笼上,所述金属网织笼内部设置有驱动反馈电极,所述驱动反馈电极内部设置有驱动电极,所述驱动电极中部设置有驱动腔,所述中心检测电极设置在两个端部检测电极之间,所述外框下方设置有弹性模态横梁,所述端部检测电极和所述中心检测电极设置在内框内部。本发明可以降低转动中的阻尼,提高陀螺的检测精度,本发明在密封状态下工作,减小了空气阻尼,精度更高,本发明同时具有束缚电容的能力,电容量更大,可以获得更大的惯性质量和敏感电容。
搜索关键词: 中心检测 电极 外框 水平轴微机械陀螺 驱动反馈电极 电极设置 端部检测 内部设置 驱动电极 金属网 陀螺 锚点 弹性模态 定位设备 空气阻尼 密封状态 敏感电容 驱动模态 弹性梁 电容量 驱动腔 电容 横梁 减小 转动 束缚 检测
【主权项】:
1.一种水平轴微机械陀螺,其特征在于:包括外框(1)和中心检测电极(10),所述外框(1)通过驱动模态弹性梁(11)与定锚点(2)相连接,所述定锚点(2)安装在金属网织笼(3)上,所述金属网织笼(3)内部设置有驱动反馈电极(7),所述驱动反馈电极(7)内部设置有驱动电极(6),所述驱动电极(6)中部设置有驱动腔(8),所述中心检测电极(10)设置在两个端部检测电极(9)之间,所述外框(1)下方设置有弹性模态横梁(5),所述端部检测电极(9)和所述中心检测电极(10)设置在内框(4)内部,所述驱动电极(6)由固定电极(601)和可动电极(602)组成。
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