[发明专利]在酸性蚀刻生产线内采用三级循环吸收的处理方法及设备有效
| 申请号： | 201810100730.7 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108425116B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吴渤;陈祥衡;李明军;石杨;王青龙;罗锌钰 | 申请（专利权）人： | 深圳中科欧泰华环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 裴大牛;顾珊 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在酸性蚀刻生产线内采用三级循环吸收的处理方法包括如下步骤：(1)电解及再生液循环；2)氯气吸收循环；(3)蚀刻液循环；(4)尾气吸收循环；(5)尾气处理。本发明所述的一种在酸性蚀刻生产线内采用三级循环吸收的处理方法保证了吸收的有效性、合理性、可控性，处理回收Cl2效果理想，并且可根据ORP值进行吸收操作控制，操作方便，运行稳定，同时，还确保了蚀刻液温度的平稳，减少了能量消耗，促进了蚀刻效果；对整个系统也降低了尾气处理的负荷，避免了二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 三级循环 酸性蚀刻 吸收 尾气处理 蚀刻液 蚀刻 二次污染 氯气吸收 能量消耗 尾气吸收 效果理想 运行稳定 可控性 再生液 合理性 电解 回收 保证 | ||
【主权项】：
1.一种在酸性蚀刻生产线内采用三级循环吸收的处理方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)电解及再生液循环：酸性蚀刻生产线产生的废蚀刻液送至电解槽中进行电解，回收金属铜，去除铜离子后的再生蚀刻液送回酸性蚀刻生产线中使用；(2)氯气吸收循环：吸收循环泵抽吸酸性蚀刻生产线的蚀刻液，将电解产生的Cl2送至氯气吸收器强制吸收，使吸收后的蚀刻液流入吸收循环槽，再不断流入酸性蚀刻生产线中；吸收循环泵再次抽吸酸性蚀刻生产线的蚀刻液，不断重复进行氯气吸收循环；所述氯气吸收循环为两级循环，两套独立的系统同时工作，每级均包括所述吸收循环泵、所述氯气吸收器和所述吸收循环槽(3)蚀刻液循环：步骤(2)中吸收后的蚀刻液流入酸性蚀刻生产线后，通过蚀刻液循环泵进行酸性蚀刻生产线整个系统的再循环；(4)尾气吸收循环：将步骤(3)酸性蚀刻生产线中残留Cl2的尾气，通过吸收循环泵抽吸蚀刻液，送至尾气吸收器强制吸收尾气中的Cl2，使系统产生负压，将吸收后的蚀刻液流入吸收循环槽，再不断流入酸性蚀刻生产线中，吸收循环泵再抽吸蚀刻液，不断反复进行尾气吸收循环；(5)尾气处理：系统中吸收不了的少量Cl2随着尾气送入尾气处理槽处理达标后排放。
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