[发明专利]工件台装置和浸没光刻设备在审
| 申请号： | 201810096478.7 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110095943A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 赵丹平;魏巍;罗晋;刘伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种工件台装置，包括：工件台单元、边缘气液回收单元和热量隔离单元，边缘气液回收单元围绕设置在工件台单元内的边缘位置处，热量隔离单元围绕设置在边缘气液回收单元的内侧和/或外侧。本发明提供了一种工件台装置和浸没光刻设备，能够将边缘气液回收单元处的制冷冷源与工件台单元的其它部位进行热隔离，用于阻挡边缘气液回收单元内的能量泄漏至工件台单元内其它部位，提升工件台单元的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 气液回收 工件台 工件台装置 浸没光刻设备 热量隔离 围绕设置 边缘位置 能量泄漏 热隔离 冷源 制冷 阻挡 | ||
【主权项】：
1.一种工件台装置，其特征在于，包括：工件台单元、边缘气液回收单元和热量隔离单元，所述边缘气液回收单元围绕设置在所述工件台单元内的边缘位置处，所述热量隔离单元围绕设置在所述边缘气液回收单元的内侧和/或外侧。
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