[发明专利]工件台装置和浸没光刻设备

权利要求书

1.一种工件台装置，其特征在于，包括：工件台单元、边缘气液回收单元和热量隔离单元，所述边缘气液回收单元围绕设置在所述工件台单元内的边缘位置处，所述热量隔离单元围绕设置在所述边缘气液回收单元的内侧和/或外侧。

2.如权利要求1所述的工件台装置，其特征在于，所述边缘气液回收单元环形围绕设置在所述工件台单元内的边缘位置处。

3.如权利要求1所述的工件台装置，其特征在于，所述热量隔离单元环形围绕设置在所述边缘气液回收单元的内侧和/或外侧。

4.如权利要求1所述的工件台装置，其特征在于，所述热量隔离单元为真空隔离单元。

5.如权利要求1所述的工件台装置，其特征在于，包括热量外引单元，所述热量外引单元用于将所述边缘气液回收单元处的能量引出至所述工件台单元外。

6.如权利要求5所述的工件台装置，其特征在于，所述热量外引单元包括热量转移机构和热量扩散机构，所述热量转移机构用于获取所述边缘气液回收单元处的能量波动，并通过所述热量扩散机构引出至所述工件台单元外。

7.如权利要求6所述的工件台装置，其特征在于，所述热量转移机构位于所述边缘气液回收单元的内侧和/或外侧。

8.如权利要求7所述的工件台装置，其特征在于，所述热量转移机构位于所述边缘气液回收单元和热量隔离单元之间。

9.如权利要求6所述的工件台装置，其特征在于，所述工件台单元包括工件台本体和工件台底座，所述热量扩散机构位于所述工件台本体的底部、工件台底座的底部和位于所述工件台本体和所述工件台底座之间中的一处或多处。

10.如权利要求9所述的工件台装置，其特征在于，所述热量扩散机构包括第一热量扩散机构和第二热量扩散机构，所述第一热量扩散机构位于所述工件台本体的底部，所述第二热量扩散机构位于所述工件台底座的底部。

11.如权利要求10所述的工件台装置，其特征在于，所述第一热量扩散机构通过用于转移热量的连接结构和第二热量扩散机构连接。

12.如权利要求6所述的工件台装置，其特征在于，热量扩散机构呈网状结构。

13.如权利要求1所述的工件台装置，其特征在于，包括冷却单元，所述冷却单元位于所述工件台单元内，且位于所述边缘气液回收单元的内侧。

14.如权利要求13所述的工件台装置，其特征在于，所述冷却单元包括冷却管路，所述冷却管路中设置有冷却流体。

15.如权利要求14所述的工件台装置，其特征在于，所述冷却单元还包括温度监测调控机构、流量监测调控机构和流体减振机构中的一种或多种。

16.一种浸没光刻设备，其特征在于，包括如权利要求1-15中任一项所述的工件台装置。