[发明专利]高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器有效
| 申请号： | 201810093613.2 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108072581B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 呼咏;王军炎;张建海;赵宏伟;王顺博;谢英杰;郭锦洲;王赵鑫 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N3/54 | 分类号： | G01N3/54;G01N3/02 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高/低温‑电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，属于机电一体化精密仪器领域。包括纵向精密纳米压痕驱动加载模块、横向磁加载模块、低温纵向磁场模块、高温电场模块和隔震台，结构简单，可用于真空或惰性气体环境中，既防止低温对试验台结冰造成的实验误差，也避免高温造成对压头和试件的氧化。纵向精密压入驱动模块实现压头精密压入，通过位移信号和力信号进行精密纳米压痕检测；横向磁加载模块随压头在纵方向同步移动确保压入时试件与压头区域横向磁场的稳定性；低温纵向磁场模块实现材料在低温场中，加载纵向磁场，并与横向磁加载模块共同实现对材料的双向磁场环境；高温电场模块主要实现在高温环境中对材料施加电场。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 电磁场 复合 条件 加载 纳米 压痕 测试 仪器 | ||
【主权项】：
1.一种高/低温-电磁场复合条件加载的纳米压痕测试仪器，其特征在于：包括纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）、横向磁加载模块（2）、低温纵向磁场模块（3）、高温电场模块（4）和隔震台（5），所述纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）、横向磁加载模块（2）、低温纵向磁场模块（3）和高温电场模块（4）安装在隔震台（5）上；所述纵向精密纳米压痕驱动加载模块（1）通过辅助连接架（113）及紧定螺钉与横向磁加载模块（2）连接，以保证在纵向宏观运动上，横向磁加载模块（2）产生的磁感线中心与金刚石导电压头（115）的压尖在一条直线上，并通过立板（104）与隔振台（5）连接，从而固定在隔震台（5）上；所述低温纵向磁场模块（3）通过滑块承接板Ⅱ（306）与隔震台（5）上的横向滑轨连接，以保证低温纵向磁场模块（3）沿着横向滑轨横向移动；所述高温电场模块（4）通过滑块承接板
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