[发明专利]一种新型的显影装置在审
| 申请号： | 201810092258.7 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108333884A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 薛文卿;杨喻;张月圆 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的显影装置，包括承片台，所述承片台的内部中间处贯穿设置有真空吸尘器，所述承片台的一侧外表面固定安装有一号输送管，所述承片台的另一侧外表面固定安装有二号输送管，所述承片台的上端外表面固定安装有掩模，所述掩模的正上方固定安装有喷洒管道，所述喷洒管道的上端外表面一侧设置有去离子水管，所述喷洒管道的上端外表面另一侧设置有显影液管，所述显影液管远离离子水管的一端外表面固定安装有水套。本发明所述的一种新型的显影装置采用掩模旋转与喷头固定的方式，能缩短显影液涂布时间，改善显影液在掩模中心处和边缘处覆盖不均的问题，提高线宽均匀性，带来更好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 承片台 上端外表面 喷洒管道 显影装置 显影液 输送管 掩模 离子 水管 喷头 显影液涂布 线宽均匀性 掩模中心处 真空吸尘器 掩模旋转 边缘处 固定的 中间处 水套 贯穿 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种新型的显影装置，包括承片台(1)，其特征在于：所述承片台(1)的内部中间处贯穿设置有真空吸尘器(2)，所述承片台(1)的一侧外表面固定安装有一号输送管(3)，所述承片台(1)的另一侧外表面固定安装有二号输送管(4)，所述承片台(1)的上端外表面固定安装有掩模(5)，所述掩模(5)的正上方固定安装有喷洒管道(6)，所述喷洒管道(6)的上端外表面一侧设置有去离子水管(7)，所述喷洒管道(6)的上端外表面另一侧设置有显影液管(8)，所述显影液管(8)远离离子水管(7)的一端外表面固定安装有水套(9)，所述掩模(5)的上端外表面设置有显影液分散区(10)，所述掩模(5)的底端外表面中间处固定安装有显影喷头(11)。
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