[发明专利]金刚线切割硅片断线入刀方法

摘要

本发明提供了一种金刚线切割硅片断线入刀方法，属于金刚线切割方法技术领域，包括以下步骤：1)发生断线后测量断线处硅块的厚度，对小于40mm的硅块进行重新入刀处理；2)将金刚线剪断，提起硅块；3)拆卸放线轴，更换金刚线并紧固丝杠；4)重新布置切割线网，对缝隙进行处理；5)设定切割线网的张力和转速，对准切割缝隙处使用细线入刀；6)入刀完毕后剪断金刚线，更换原来直径大的金刚线，使两种金刚线打结，正转切割线网并下压至硅片切割缝隙处；7)启动机器运行。本发明提供的金刚线切割硅片断线入刀方法，对硅块厚度小于40mm的硅块进行再次入刀操作，解决了硅块切割断线后入刀困难，硅片破碎，成本增加的技术问题。

主权项

1.金刚线切割硅片断线入刀方法，其特征在于，包括以下步骤：1)金刚线发生断线后，观察和测量断线后的切割位置的厚度，将所测得的厚度以40mm为界线分两种情况进行处理；2)若厚度小于40mm，则需要进行重复入刀切割操作；若厚度大于40mm，则不需要进行重复入刀切割操作；3)将断线处的金刚线剪断，缓慢提起硅块，使硅块上升至切割线网以上高度，倒转切割线网，将切割线网上的金刚线缓慢收回至放线轴上；4)将放线轴拆卸下来，更换放线轴上的直径较小的金刚线，对放线轴丝杠进行紧固；5)重新布置切割线网，对已切割的硅块的缝隙进行处理；6)打开冷却液，设定切割线网的张力和转速，当硅块下降至接触切割线网时，检查是否存在夹片现象，使切割线网对准硅块上的切割缝隙处；7)入刀完毕后剪断放线轴上直径较小的金刚线，更换放线轴上原来直径大小的金刚线，将两种金刚线打成一个线结，使切割线网正转，将线结转动至收线轴位置处，并将切割线网下压至硅块切割缝隙处；8)启动机器运行金刚线的切割操作。